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日立 FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪


自1978年(nian)以(yi)来(lai)取得傲人销(xiao)量(liang)的X射线(xian)荧光镀层厚度测量(liang)仪的第八代产品FT110A,在测量(liang)精度、操作(zuo)性能、软件上有新(xin)的优化。

通过自动(dong)定位功(gong)能,只需把(ba)样品(pin)放(fang)在(zai)样品(pin)台上,便能在(zai)数秒内自动(dong)对(dui)准观察(cha)样品(pin)焦点,省略(lve)了(le)以前(qian)手动(dong)逐次对(dui)焦的操(cao)作,大幅提高了(le)测(ce)量(liang)效(xiao)果(guo)。


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概要

自1978年以来取得傲人销(xiao)量(liang)(liang)(liang)的X射线荧光镀层厚(hou)度测(ce)量(liang)(liang)(liang)仪(yi)的第八代产(chan)品FT110A,在(zai)测(ce)量(liang)(liang)(liang)精度、操作(zuo)性能、软件(jian)上有新的优化。

通(tong)过自动(dong)定位功能,只需把样(yang)品(pin)放在样(yang)品(pin)台上,便能在数(shu)秒内自动(dong)对准观察样(yang)品(pin)焦点,省(sheng)略了(le)(le)以前手动(dong)逐次(ci)对焦的操作,大幅(fu)提(ti)高了(le)(le)测(ce)量效(xiao)果。
 

特长:

1.自动(dong)对(dui)焦功能(neng) 自动(dong)接近功能(neng)
   在样品台上放置各(ge)种(zhong)高度的样品时,只要(yao)高低差在80mm范围内(nei)(nei),即可在3秒(miao)内(nei)(nei)自(zi)动对焦被测样品。由(you)此进一步(bu)提(ti)高定位操(cao)作的便捷性。

    ●自动对(dui)焦功能    简(jian)便的摄(she)像(xiang)头(tou)对焦

    ●自动接(jie)近功(gong)能(neng)    最适(shi)合位置(zhi)的(de)对焦

             

 

2.通过新薄膜(mo)FP法(fa)提高测量精度

   实现微小(xiao)(xiao)光束(shu)的(de)高灵(ling)敏度(du),通过微小(xiao)(xiao)准直器提高了(le)膜(mo)厚(hou)测(ce)量(liang)(liang)精度(du)。镀层(ceng)测(ce)量(liang)(liang)时间比本(ben)公司原(yuan)有机(ji)型缩短了(le)1/2。另外,针对检测(ce)器的(de)特(te)性开发了(le)新的(de)EP法,可(ke)进行无标样测(ce)量(liang)(liang)。测(ce)量(liang)(liang)结果可(ke)一键生成报(bao)告(gao)书,简单方便(bian)。

    ●新薄(bo)膜EP法    

      减(jian)少检(jian)量线制作的繁(fan)琐程度、实现了设定测量条件的简易化

      无(wu)标样测(ce)量(liang)方法可进(jin)行(xing)最多(duo)5层的膜厚测(ce)量(liang)

    ●自动对焦功能和距离(li)修正功能    

      凹凸落(luo)差的(de)样品可通过薄膜EP法做成的(de)相同测定条件进行测量(liang)

    ●灵(ling)敏度提高(gao)

      镀层测量时间比本(ben)公司(si)原(yuan)有机(ji)型缩短了1/2

    ●生(sheng)成报告功(gong)能

      一(yi)键生(sheng)成测(ce)量报告(gao)书

      

 

3.广域样品观察

对(dui)测量平台(250mm*200mm)上(shang)(shang)放置(zhi)的(de)(de)(de)样品拍摄一张静态画(hua)面后,可在获取(qu)的(de)(de)(de)广域(yu)观(guan)察图(tu)像上(shang)(shang)指(zhi)定狭域(yu)的(de)(de)(de)观(guan)察位置(zhi)。由此,可大幅减少(shao)多数(shu)测量点位置(zhi)的(de)(de)(de)选(xuan)取(qu)时间(jian),以(yi)及在图(tu)像上(shang)(shang)难(nan)以(yi)寻找的(de)(de)(de)特定点位置(zhi)的(de)(de)(de)选(xuan)定时间(jian)。

    ●广域图像观察(cha)    

      轻松定位(wei)

               

 

 

型号名称:FT-110A


测量(liang)元素(su):原子序(xu)数22(Ti)~83(Bi)

检测器:比例(li)计数管(guan)

X射线管:管电(dian)压:50kV    管电(dian)流:1mA

准(zhun)直器:4种(Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm)

样品观察:CCD摄像头(可进(jin)行广域观察)

X-Ray Station:电脑、19英寸(cun)液(ye)晶显示器

膜厚测量软件:薄(bo)膜EP法、标准曲(qu)线法

测(ce)量功能:自动测(ce)量、中心搜(sou)索

定性(xing)功能:KL标(biao)记、比较表示

使(shi)用电源:220V/7.5A