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日立 FT150系列 荧光X射线镀层膜厚测量仪


使用新开发的X射线聚光(guang)用多毛细管的产(chan)品阵容诞生(sheng)了。另外(wai),以X射线检(jian)测(ce)结构为中心,对各(ge)类元(yuan)件进行最佳优化,从(cong)而大幅提高了检(jian)测(ce)灵敏度,在不损(sun)失(shi)检(jian)测(ce)精度的前提下实现了的高处理(li)能力(li)。并且,对设(she)备(bei)进行了重新设(she)计,使得(de)样本(ben)室的使用,以及(ji)对检(jian)测(ce)点的检(jian)查(cha)变得(de)更为容易。




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概要(yao):

使(shi)用新开发的X射线聚光用多毛细管的产品(pin)阵容(rong)诞生了(le)。另外,以(yi)(yi)X射线检(jian)(jian)测(ce)结(jie)构为中心(xin),对各类元(yuan)件进(jin)(jin)行最(zui)佳(jia)优化,从(cong)而(er)大幅提高了(le)检(jian)(jian)测(ce)灵敏度,在不损失(shi)检(jian)(jian)测(ce)精度的前提下实现了(le)的高处理能(neng)力。并且(qie),对设备(bei)进(jin)(jin)行了(le)重新设计,使(shi)得样本室(shi)的使(shi)用,以(yi)(yi)及对检(jian)(jian)测(ce)点(dian)的检(jian)(jian)查变得更为容(rong)易。



特点(dian):

1.显微领(ling)域的高(gao)精度检测
通过采用新开发的多毛细管,以及对(dui)探测器的优(you)化,在实现照射半径(jing)等同于旧有型号FT9500X为(wei)30 μm(设想FWHM: 17 μm)的基础上(shang),进一步(bu)将(jiang)处理能(neng)力提高到了2倍以上(shang)。


2.产(chan)品(pin)阵容(rong)适应各类检测样本
针对检测(ce)样本的不同种(zhong)类,可在下列3种(zhong)型(xing)号中进行选(xuan)择。
  ●测量引线(xian)架、连(lian)接器等各类电子元器件(jian)的微(wei)型部件(jian)、超薄薄膜的型号
  ●能够处理尺寸为(wei)600 mm×600 mm的大(da)型(xing)印刷电路板的大(da)型(xing)印刷电路板用型(xing)号
  ●适合对陶瓷芯片电(dian)极(ji)部分中,过去难(nan)以(yi)同时测量的Sn/Ni两层进行(xing)高(gao)能(neng)测量的型(xing)号


3.兼顾易操作性与安全性
放大(da)了开口,同时样本(ben)室的(de)门也可单手轻松开闭。从而提高了取(qu)出、放入检测样本(ben)的(de)操(cao)作简便(bian)性,并(bing)且(qie)该(gai)密封结构也大(da)大(da)减少了X射(she)线泄漏(lou)的(de)风险,让用(yong)户放心(xin)使用(yong)。


4.检测部位可(ke)见
通过设置大型观(guan)察窗、修(xiu)改部(bu)件(jian)布局,使得(de)样本(ben)室(shi)门在关闭状态下亦(yi)可方便(bian)地(di)观(guan)察检测部(bu)位。


5.清晰的样本图像
使用(yong)(yong)了分辨(bian)率比以往(wang)更(geng)高(gao)的样本观(guan)察(cha)摄像(xiang)头,采(cai)用(yong)(yong)全数(shu)码变焦,从而(er)消(xiao)除位置偏差(cha),可以清(qing)晰地观(guan)察(cha)数(shu)十μm的微小样本。
另外,亦采用(yong)LED作为样(yang)本观察灯(deng)(deng),无(wu)需像以往的机型那(nei)样(yang)对(dui)灯(deng)(deng)泡进行更换。


6.新规
将(jiang)各类检测(ce)方法、检测(ce)样(yang)本都以应用程(cheng)序图标的(de)形式(shi)进行了登记。图标皆(jie)为检测(ce)样(yang)本的(de)照片、多(duo)层(ceng)膜的(de)图示等,因此登记、整理(li)起来就很方便,从(cong)而(er)使得用户可以不(bu)走弯(wan)路(lu),直接进行检测(ce)。
使用检测向导(dao)窗口来(lai)指(zhi)导(dao)操(cao)作(zuo)。通过与检测画面联动(dong),逐步引导(dao)用户执行当(dang)前所需进(jin)行的工(gong)作(zuo)。

 

型号名称:FT150(标准型)FT150h(高能量型)FT150L(大型线路板对应)


测量元素:原子(zi)序数13(Al)~92(U) 
X射线源(yuan):管电(dian)压:45 kV    
FT150:Mo靶(ba)(ba)  FT150h:W靶(ba)(ba)  FT150L:Mo靶(ba)(ba) 
检测器(qi):Si半导体检测器(qi)(SDD)(无需液(ye)氮) 
X射(she)线聚(ju)光:聚(ju)光导管方(fang)式 
样品观(guan)察:CCD摄像头(tou)(100万像素) 
对焦(jiao):激光对焦(jiao)、自动(dong)对焦(jiao) 
最大样品尺寸:FT150:400(W)×300(D)×100(H)mm 
                       FT150h:400(W)×300(D)×100(H)mm 
                       FT150L:600(W)×600(D)×20(H) mm 
工作台(tai)行程:FT150:400(W)×300(D)
                   FT150h:mm400(W)×300(D)
                   FT150L:mm300(W)×300(D) mm 
操作系(xi)统:电脑、22英寸液晶显示屏 
测量软件:薄膜(mo)FP法(最多(duo)5层膜(mo)、10元(yuan)素)、检量线(xian)法、定性分析 
数据处理(li):Microsoft Excel、Microsoft Word 安装 
安全功能:样品(pin)门联锁 
消耗电(dian)量(liang):300 VA以(yi)下